真空燒結爐(lu)是(shi)指使粉末(mo)壓(ya)坯(pi)通過(guo)燒結獲(huo)得(de)所(suo)需(xu)的物理(li)、力學(xue)性(xing)能(neng)以及(ji)微(wei)觀結構(gou)的設備(bei)。燒結爐(lu)用(yong)於(yu)烘(hong)幹矽(gui)片(pian)上(shang)的漿料、去(qu)除(chu)漿料中(zhong)的有機成分、完(wan)成鋁(lv)背場(chang)及(ji)柵(zha)線(xian)燒結。為(wei)了保證粉末(mo)壓(ya)坯(pi)在燒結過(guo)程(cheng)中的脫(tuo)蠟（潤(run)滑劑或成形(xing)劑）、還(hai)原、合(he)金化(hua)、組織(zhi)轉變(bian)等(deng)順利(li)進(jin)行(xing)，燒結時需(xu)要對(dui)燒結溫度(du)、保護氣(qi)氛(fen)、壓(ya)坯(pi)傳(chuan)送(song)方式(shi)、加(jia)熱和(he)冷(leng)卻速(su)度等進(jin)行(xing)的控(kong)制(zhi)。 真空燒結爐(lu)也(ye)具有潤滑劑(ji)燒除(chu)、預燒結及(ji)高溫燒結的功能(neng)。潤滑(hua)劑含(han)量(liang)多(duo)的壓(ya)坯(pi)可(ke)先在壹(yi)般(ban)爐中燒除(chu)，然後再在真空爐(lu)內燒結。
真空燒結爐(lu)內(nei)部通常(chang)是(shi)由(you)加熱部分和(he)隔(ge)熱保(bao)溫兩部分組(zu)成的燒結區(qu)。加(jia)熱形(xing)式有電(dian)熱元(yuan)件（如(ru)碳(tan)管(guan)、碳(tan)棒）加熱、中(zhong)頻(pin)感(gan)應加熱兩種(zhong)。爐(lu)子的冷卻采用(yong)水夾(jia)套冷卻。為了加速(su)冷卻，可向爐內(nei)通入(ru)氫、氮(dan)、氬等(deng)氣(qi)體。
真空燒結爐(lu)使用(yong)的註意(yi)事項(xiang)
(1)當使用(yong)氫氣(qi)或分解氨時，要先通入(ru)氮氣(qi)，在確(que)保爐(lu)中的空氣(qi)*被排出時，才能通電(dian)升溫，以防(fang)止(zhi)打(da)鳴和(he)爆(bao)炸(zha)。
(2)對(dui)鉬絲(si)作(zuo)加熱元(yuan)件的燒結爐(lu)，在通電(dian)前爐體(ti)中應通入(ru)保護氣(qi)體，以防(fang)止(zhi)鉬絲(si)氧(yang)化(hua)而(er)脆斷(duan)。
(3)爐門(men)及(ji)氣(qi)體排出口(kou)應點(dian)明火(huo)燒除(chu)，以防(fang)止(zhi)氧(yang)氣(qi)進(jin)入(ru)或氫氣(qi)排出而(er)發生(sheng)爆(bao)炸(zha)危險和(he)煤氣(qi)中毒(du)危險。
(4)若電熱元(yuan)件為(wei)鐵(tie)鉻鋁(lv)電阻絲(si)，在升溫至(zhi)1100℃時應停留壹(yi)段(duan)時間(jian)（30min左右）再升溫，以防(fang)止(zhi)電阻絲(si)表面溫度(du)過高而(er)損(sun)壞(huai)。
(5)在升溫前和(he)操(cao)作(zuo)中應不時檢(jian)查氣(qi)流(liu)、水(shui)流(liu)是(shi)否(fou)符(fu)合(he)要求(qiu)，以及(ji)檢(jian)查(zha)設(she)備(bei)、電(dian)和(he)爐(lu)溫的控(kong)制(zhi)儀表是(shi)否(fou)正(zheng)常。
(6)停(ting)爐前應先斷電，在爐溫降(jiang)到200℃以下(xia)時再停(ting)氣(qi)和(he)停(ting)水。
(7)除了因(yin)維修必須停(ting)爐(lu)外，要避免頻(pin)繁停爐。燒結爐(lu)的頻(pin)繁開停，會造成加(jia)熱元(yuan)件易(yi)於(yu)老(lao)化(hua)，耐(nai)火(huo)材(cai)料易(yi)於(yu)碎(sui)裂，爐內(nei)氣(qi)氛(fen)不(bu)純，爐溫容(rong)易波動(dong)等(deng)弊端。
