設備(bei)真(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)主(zhu)要由真空室(shi)、泵(beng)系(xi)統(tong)和(he)各(ge)控(kong)制閥(fa)及熱交換器組成。其(qi)中泵(beng)系(xi)統由機械泵、維持泵(beng)、羅(luo)茨泵(beng)、擴散泵(beng)等構成。閥(fa)門(men)包括前(qian)級閥(fa)(碟(die)閥(fa))、旁路(lu)閥(fa)(碟(die)閥(fa))、維(wei)持泵(beng)閥(fa)(碟(die)閥(fa))和(he)高(gao)閥(fa)(板(ban)閥(fa))組(zu)成，各閥(fa)門(men)均為氣動(dong)閥(fa)，由PLC控(kong)制氣動(dong)閥(fa)進行控(kong)制。加熱室(shi)主(zhu)要(yao)由不銹鋼加(jia)熱室(shi)殼(ke)體(ti)、不(bu)銹(xiu)鋼(gang)反(fan)射(she)屏(ping)、加(jia)熱器、陶瓷(ci)絕(jue)緣(yuan)件(jian)、水(shui)冷電極、爐床(chuang)等(deng)組成。

　　真空釬(qian)焊爐的原(yuan)理：

　　真(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)工(gong)作(zuo)時，首壹先啟(qi)動機械泵、維持泵(beng)和(he)擴散泵(beng)（加熱），同時打開前(qian)級閥(fa)和(he)維持泵(beng)閥(fa)，對(dui)擴散泵(beng)內進行抽(chou)真空(kong)。當真空(kong)度(du)達(da)到(dao)系(xi)統(tong)某(mou)壹設定值時，羅(luo)茨泵(beng)啟動(dong)，同(tong)時旁路(lu)閥(fa)打開，前(qian)級閥(fa)關閉，此(ci)時對真(zhen)空室(shi)進行抽(chou)低真(zhen)空(kong)當擴散泵(beng)加熱至(zhi)規定溫(wen)度(du)並(bing)且(qie)真(zhen)空度(du)高(gao)於規定值時，高(gao)閥(fa)打開，旁路(lu)閥(fa)關閉，前(qian)級閥(fa)打開。此(ci)時對真(zhen)空室(shi)抽(chou)高(gao)真空(kong)，達(da)到(dao)工(gong)藝(yi)要求的真(zhen)空度(du)以(yi)後(hou)，方可(ke)進行熱處理工作(zuo)。熱加工過程完(wan)成(cheng)後，由熱交換器對真空(kong)室(shi)充(chong)入(ru)高(gao)純(chun)氮(dan)氣(qi)進行強(qiang)制冷卻，完(wan)成(cheng)整(zheng)個(ge)工(gong)藝(yi)過程。