空燒(shao)結(jie)爐主(zhu)要(yao)用(yong)於半導(dao)體(ti)元(yuan)器(qi)件及電力整流(liu)器(qi)件的(de)燒(shao)結(jie)工(gong)藝(yi)，可(ke)進行(xing)真空燒(shao)結(jie)，氣(qi)體(ti)保(bao)護(hu)燒(shao)結(jie)及常規(gui)燒(shao)結(jie)。是(shi)半導(dao)體(ti)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)系(xi)列中壹種(zhong)新(xin)穎(ying)的(de)工藝(yi)裝備(bei)，它(ta)設計(ji)構思(si)新(xin)穎(ying)，操(cao)作(zuo)方(fang)便，結(jie)構緊(jin)湊(cou)，在(zai)壹臺(tai)設備(bei)上(shang)可(ke)完(wan)成多個工藝流程(cheng)。亦(yi)可(ke)用(yong)於其(qi)他領域內(nei)的(de)真空熱處理，真空釬焊(han)等工(gong)藝。真空燒(shao)結(jie)爐使(shi)用(yong)有(you)哪(na)些註意(yi)事(shi)項(xiang)？日(ri)常使(shi)用(yong)中(zhong)有(you)哪(na)些應急計(ji)劃？

　　1冷卻水異(yi)常

　　1、確認加(jia)熱電源(yuan)已停(ting)止。

　　2、爐外(wai)發(fa)生漏(lou)水，冷卻水量異(yi)常時(shi)，應盡快采取應急措(cuo)施(shi)，如(ru)能(neng)保(bao)證(zheng)水量，請繼(ji)續保(bao)持(chi)真空，如(ru)不(bu)能(neng)采(cai)取(qu)應急措(cuo)施(shi)，保(bao)持(chi)原(yuan)狀(zhuang)，確認設(she)備(bei)冷卻下(xia)來。

　　3、冷卻水發生異(yi)常時(shi)，設備(bei)處於停(ting)止狀態(tai)，馬(ma)上(shang)接(jie)通(tong)緊(jin)急(ji)用(yong)冷卻水。

　　4、在(zai)高(gao)溫(超(chao)過(guo)200℃即視為(wei)高(gao)溫)時(shi)，如(ru)果(guo)冷卻水停(ting)止了(le)，如(ru)果(guo)不(bu)能(neng)緊(jin)急(ji)送水，水冷電極(ji)、換(huan)熱器、真空室殼體(ti)及各(ge)泵可(ke)能(neng)被(bei)損壞(huai)。

　　2壓縮空氣的(de)停(ting)止

　　1、壓縮空氣異(yi)常報(bao)警(jing)時(shi)，設備(bei)處於停(ting)止狀態(tai)，應盡快到備(bei)用(yong)的(de)壓縮機房(fang)，讓其(qi)恢復(fu)工(gong)作(zuo)。

　　2、真空中如(ru)壓(ya)縮空氣異(yi)常報(bao)警(jing)，且恢(hui)復需要較長(chang)時(shi)間時(shi)，則終止真空，讓設備(bei)停(ting)下(xia)來。

　　3停(ting)電

　　1、停(ting)電時(shi)，如(ru)果(guo)斷(duan)水，應立(li)即接通備(bei)用(yong)的(de)冷卻水，接通(tong)水源。

　　2、如(ru)果(guo)在(zai)非升(sheng)溫、加(jia)熱和冷卻時(shi)，能夠(gou)盡快恢復時(shi)，重(zhong)新(xin)啟動設(she)備(bei)，繼(ji)續運(yun)轉(zhuan)如(ru)需要較長(chang)時(shi)間，則將(jiang)設備(bei)保(bao)持(chi)原(yuan)狀(zhuang)。

　　3、如(ru)果(guo)正(zheng)在(zai)加(jia)熱和冷卻時(shi)，能夠(gou)盡快恢復時(shi)，重(zhong)新(xin)啟動設(she)備(bei)，如(ru)果(guo)需要較長(chang)時(shi)間時(shi)，則保(bao)持(chi)原(yuan)狀(zhuang)，讓設備(bei)自(zi)然冷卻下(xia)來。

　　4加(jia)熱電源(yuan)掉電

　　1、水壓低(di)，當(dang)水壓低(di)於0.15MPa，壓力表報(bao)警(jing)。

　　2、接地(di)故障。

　　3、真空放電，水冷電極(ji)接(jie)頭與(yu)加(jia)熱器連(lian)接(jie)處必須(xu)連(lian)接(jie)牢(lao)固(gu)，與(yu)反(fan)射(she)屏(ping)絕(jue)緣要好。

　　4、若爐內(nei)壓(ya)力為(wei)13.3-66.5Pa時(shi)(此真空度容易(yi)發生放電)。電源(yuan)出(chu)現故(gu)障，掉電的(de)原因(yin)可(ke)以認為(wei)由(you)於電介質(zhi)擊(ji)穿(chuan)而(er)引(yin)起的(de)放電。

　　5充(chong)氣(qi)氣體(ti)(氬(ya)氣(qi)或(huo)氮氣(qi))停(ting)止

　　1、抽真空開始前，氣(qi)體(ti)充(chong)入時(shi)間長或(huo)者無法(fa)充入(ru)時(shi)，請確認氣(qi)體(ti)管(guan)路是否(fou)被(bei)堵(du)塞。

　　2、如(ru)氣(qi)體(ti)管(guan)路沒問題，檢(jian)查電磁閥及氣體(ti)充(chong)氣閥的(de)動作(zuo)，為(wei)了(le)安(an)全與(yu)其(qi)相關(guan)聯(lian)的(de)設備(bei)要(yao)全部(bu)停(ting)止後(hou)再(zai)進行(xing)檢(jian)查。

　　3、向(xiang)真空室內充氣(qi)不(bu)能(neng)停(ting)止的(de)情況下(xia)，泄壓(ya)閥動(dong)作如(ru)泄壓(ya)閥動(dong)作時(shi)，要關(guan)閉(bi)氣(qi)體(ti)供(gong)給閥及配管(guan)在(zai)內的(de)所有(you)氣(qi)體(ti)系(xi)統。

　　4、確認氣(qi)體(ti)充(chong)氣配管(guan)是否(fou)有(you)漏(lou)氣的(de)地方(fang)，如(ru)有(you)會(hui)影響(xiang)制(zhi)品(pin)質(zhi)量。

　　6真空室壓力惡化

　　1、真空排氣時(shi)間比通(tong)常長(chang)時(shi)，應把設備(bei)停(ting)下(xia)來進行(xing)檢(jian)查，根據(ju)真空室內構造(zao)物(wu)不(bu)同狀(zhuang)態下(xia)放氣(qi)的(de)影響(xiang)，也(ye)有(you)導(dao)致(zhi)壓力升(sheng)高(gao)的(de)情況。

　　2、通(tong)過(guo)壓力上升(sheng)測(ce)試或者用(yong)氦氣(qi)檢(jian)漏(lou)來確認是(shi)漏(lou)氣還(hai)有(you)放(fang)氣(qi)的(de)影響(xiang)。

　　在(zai)真空和保(bao)護(hu)性氣氛中(zhong)，對(dui)金屬(shu)、陶(tao)瓷及壹些難熔(rong)金(jin)屬(shu)中(zhong)間(jian)化(hua)合物粉(fen)末(mo)加(jia)熱燒(shao)結(jie)，要(yao)獲(huo)得(de)壹(yi)定密度和具有(you)壹(yi)定(ding)機械性能的(de)材料(liao)時(shi)，壹般(ban)采(cai)用(yong)兩(liang)種工(gong)藝(yi);即有(you)壓(ya)燒(shao)結(jie)和(he)無壓燒(shao)結(jie)。有(you)壓(ya)燒(shao)結(jie)工(gong)藝(yi)是(shi)將(jiang)粉狀(zhuang)材(cai)料(liao)置(zhi)於真空和保(bao)護(hu)性氣氛中(zhong)的(de)高(gao)碳模具中，高(gao)溫加(jia)熱到軟(ruan)化狀(zhuang)態(tai)時(shi)，加(jia)壓(ya)成(cheng)型(xing)。這(zhe)種(zhong)工藝需要壹(yi)種真空熱壓燒(shao)結(jie)才(cai)能(neng)實現。該(gai)燒(shao)結(jie)爐具有(you)溫度(du)高(gao)、真空度高(gao)、熱壓力高(gao)的(de)特(te)點(dian)。