真(zhen)空熱(re)壓(ya)爐(lu)是在真(zhen)空高壓下(xia)制備(bei)致(zhi)密(mi)化(hua)合(he)物材料(liao)的理想(xiang)工具，在5噸(dun)壓(ya)力下(xia)可(ke)鍵合(he)多層(ceng)基片(pian)。爐子可(ke)以(yi)加(jia)熱到(dao)1100℃並且(qie)30段(duan)程(cheng)序(xu)控(kong)溫。帶(dai)水冷的法(fa)蘭可(ke)使真(zhen)空度達(da)到(dao)10-5Torr（用分(fen)子泵(beng)）。真(zhen)空熱(re)壓(ya)爐(lu)廣泛(fan)應(ying)用於(yu)硬(ying)質(zhi)合(he)金(jin)、功能陶瓷、粉末冶金(jin)等(deng)在高溫、高真(zhen)空條(tiao)件(jian)下(xia)進行(xing)熱壓(ya)燒結(jie)處理，也(ye)可(ke)在充(chong)氣保護(hu)情(qing)況(kuang)下(xia)熱壓(ya)成形(xing)燒結(jie)。

　　真(zhen)空熱(re)壓(ya)爐(lu)主要(yao)由(you)爐體(ti)、爐門、加(jia)熱與(yu)保溫及(ji)測(ce)溫系統(tong)、真(zhen)空系統(tong)、充(chong)氣系統(tong)、水冷系統(tong)、控(kong)制系統(tong)、液(ye)壓(ya)系統(tong)等(deng)組(zu)成(cheng)。真(zhen)空熱(re)壓(ya)爐(lu)為周期作業(ye)式(shi)，廣(guang)泛(fan)應(ying)用於(yu)硬(ying)質(zhi)合(he)金(jin)、功能陶瓷、粉末冶金(jin)等(deng)在高溫、高真(zhen)空條(tiao)件(jian)下(xia)進行(xing)熱壓(ya)燒結(jie)處理，也(ye)可(ke)在充(chong)氣保護(hu)情(qing)況(kuang)下(xia)熱壓(ya)成形(xing)燒結(jie)。

　　爐體為立(li)式(shi)爐(lu)殼(ke)，其(qi)內層(ceng)為不銹鋼制成(cheng)的圓(yuan)筒，外層(ceng)為碳鋼。爐(lu)體分為(wei)兩(liang)部(bu)分(fen)，其(qi)中三(san)分(fen)之(zhi)壹(yi)為(wei)爐蓋可(ke)手(shou)動*側(ce)開門，三(san)分(fen)之(zhi)二(er)部(bu)分(fen)為(wei)固(gu)定(ding)爐(lu)體(ti)，設(she)計(ji)*，便(bian)於(yu)操(cao)作。兩(liang)層(ceng)之間(jian)形(xing)成夾(jia)套(tao)可(ke)以(yi)通冷卻水將(jiang)傳到(dao)爐殼(ke)上的熱量(liang)帶(dai)走，使爐(lu)壁(bi)溫度不(bu)超過60℃，其上(shang)下(xia)法(fa)蘭焊(han)接(jie)為(wei)壹(yi)個(ge)整(zheng)體(ti)。中間(jian)開有(you)紅外測(ce)溫孔(kong)（有(you)保護(hu)氣(qi)氛通氣(qi)口），熱(re)電偶(ou)測(ce)溫孔(kong)、抽(chou)氣孔(kong)及觀察孔(kong)，鉑(bo)銠熱電偶(ou)有(you)到(dao)溫自(zi)動退(tui)出(chu)裝(zhuang)置，紅外測(ce)溫觀(guan)察孔(kong)有(you)玻璃(li)氣(qi)吹(chui)防(fang)霧(wu)裝(zhuang)置，操(cao)作人員使用的觀察孔(kong)設(she)有擋(dang)板。

　　真(zhen)空系統(tong)：由(you)油擴(kuo)散(san)泵(beng)、羅(luo)茨泵(beng)、機(ji)械泵(beng)配電磁(ci)壓(ya)差閥（防(fang)止(zhi)因(yin)突(tu)然(ran)停電、機械泵(beng)油(you)倒灌(guan)）充(chong)氣閥、放氣閥、真(zhen)空蝶(die)閥(fa)、真(zhen)空壓(ya)力表（±Pa）波(bo)紋管(guan)、真(zhen)空管(guan)路和支架(jia)等(deng)組(zu)成(cheng)。

　　液(ye)壓(ya)系統(tong)：采用電動輸(shu)入方式(shi)。由(you)液(ye)壓(ya)站(zhan)配有進口比(bi)例閥(fa)、壓(ya)力傳感(gan)器、位(wei)移顯(xian)示(shi)器采用光柵尺（測距精(jing)度0.02mm）、液(ye)壓(ya)缸等(deng)相(xiang)關(guan)液(ye)壓(ya)裝(zhuang)置，壓(ya)力調節半自(zi)動化(hua)、可(ke)通(tong)過手(shou)動調節(jie)。儀表可(ke)設(she)定自(zi)動調(tiao)節(jie)壓力，並能實(shi)現穩壓(ya)、保壓。

　　水冷系統(tong)：由(you)各種(zhong)閥管(guan)道相(xiang)關(guan)裝(zhuang)置組(zu)成(cheng)且(qie)設(she)有斷水聲(sheng)光報警(jing)自(zi)動切斷加(jia)熱源(yuan)或(huo)功能。

　　溫控(kong)系統(tong)：采用可(ke)控(kong)矽(gui)控溫，配置有(you)PID功能儀表，數顯(xian)表，具有超溫聲(sheng)光報警(jing)功能，也(ye)可(ke)選用PLC觸摸屏(ping)自(zi)動控(kong)制，並(bing)保留歷(li)史數(shu)據，便(bian)於(yu)分(fen)析(xi)燒結(jie)過程(cheng)。

　　充(chong)氣系統(tong)：由(you)各種(zhong)管道(dao)及閥(fa)門組(zu)成(cheng)，並(bing)配有電磁(ci)放(fang)氣閥、壓力傳感(gan)器，當(dang)爐(lu)內(nei)壓(ya)力高於(yu)安全(quan)值時會自(zi)動放(fang)氣(qi)，充(chong)氣管路上裝(zhuang)有針(zhen)閥，可(ke)控(kong)制充(chong)氣量(liang)