真(zhen)空(kong)燒結爐(lu)主(zhu)要(yao)用(yong)於半導體(ti)元器(qi)件及(ji)電(dian)力(li)整(zheng)流(liu)器(qi)件的(de)燒結工(gong)藝，可(ke)進(jin)行真(zhen)空(kong)燒結，氣(qi)體(ti)保護(hu)燒結及(ji)常規(gui)燒結。是(shi)半導體(ti)專用(yong)設(she)備(bei)系(xi)列中壹種(zhong)新(xin)穎(ying)的(de)工藝裝備(bei)，它(ta)設(she)計(ji)構(gou)思(si)新(xin)穎(ying)，操(cao)作(zuo)方便(bian)，結構(gou)緊湊，在(zai)壹臺(tai)設(she)備(bei)上可完(wan)成多個(ge)工(gong)藝流(liu)程。亦(yi)可用(yong)於其他(ta)領域內的(de)真空(kong)熱(re)處(chu)理，真空釬焊(han)等(deng)工(gong)藝。真(zhen)空(kong)燒結爐(lu)使(shi)用(yong)有(you)哪(na)些註意事(shi)項(xiang)？

　　1、冷卻水異常

　　1、確(que)認加(jia)熱電(dian)源(yuan)已停止。

　　2、爐(lu)外(wai)發生(sheng)漏(lou)水，冷卻水量異常時(shi)，應盡(jin)快(kuai)采取應急措(cuo)施(shi)，如(ru)能(neng)保(bao)證(zheng)水量，請(qing)繼續(xu)保(bao)持真空(kong)，如(ru)不(bu)能(neng)采取應急措(cuo)施(shi)，保持原狀(zhuang)，確(que)認設(she)備(bei)冷卻下(xia)來。

　　3、冷卻水發生(sheng)異常時(shi)，設(she)備(bei)處(chu)於停止(zhi)狀(zhuang)態(tai)，馬上接通(tong)緊急(ji)用(yong)冷卻水。

　　4、在(zai)高(gao)溫(超(chao)過200℃即視為高(gao)溫)時(shi)，如(ru)果冷卻水停止(zhi)了，如(ru)果不(bu)能(neng)緊急(ji)送(song)水，水冷電(dian)極(ji)、換(huan)熱(re)器、真空室(shi)殼體(ti)及各(ge)泵可能(neng)被(bei)損壞。

　　2 、壓(ya)縮空(kong)氣(qi)的(de)停止(zhi)

　　1、壓(ya)縮空(kong)氣(qi)異常報(bao)警(jing)時，設(she)備(bei)處(chu)於停止(zhi)狀(zhuang)態(tai)，應盡(jin)快(kuai)到(dao)備(bei)用(yong)的(de)壓縮機(ji)房，讓(rang)其恢復(fu)工(gong)作(zuo)。

　　2、真(zhen)空(kong)中如(ru)壓(ya)縮空(kong)氣(qi)異常報(bao)警(jing)，且(qie)恢復(fu)需要(yao)較(jiao)長(chang)時間(jian)時(shi)，則(ze)終(zhong)止真空，讓設(she)備(bei)停(ting)下(xia)來。

　　3、停(ting)電(dian)

　　1、停(ting)電(dian)時(shi)，如(ru)果斷水，應立即(ji)接通備(bei)用(yong)的(de)冷卻水，接通(tong)水源。

　　2、如(ru)果在(zai)非升溫、加(jia)熱和(he)冷卻時，能(neng)夠盡(jin)快(kuai)恢復(fu)時(shi)，重新(xin)啟(qi)動設(she)備(bei)，繼續(xu)運轉如(ru)需要(yao)較(jiao)長(chang)時間(jian)，則(ze)將(jiang)設(she)備(bei)保(bao)持原狀(zhuang)。

　　3、如(ru)果正(zheng)在(zai)加(jia)熱和(he)冷卻時，能(neng)夠盡(jin)快(kuai)恢復(fu)時(shi)，重新(xin)啟(qi)動設(she)備(bei)，如(ru)果需要(yao)較(jiao)長(chang)時間(jian)時(shi)，則(ze)保(bao)持原狀(zhuang)，讓(rang)設(she)備(bei)自(zi)然冷卻下(xia)來。

　　4、加(jia)熱電(dian)源(yuan)掉電(dian)

　　1、水壓低(di)，當(dang)水壓低(di)於0.15MPa，壓力(li)表(biao)報(bao)警。

　　2、接地故障(zhang)。

　　3、真空放(fang)電(dian)，水冷電(dian)極(ji)接(jie)頭(tou)與加(jia)熱器(qi)連(lian)接(jie)處必須(xu)連接(jie)牢(lao)固，與反(fan)射(she)屏(ping)絕(jue)緣(yuan)要好(hao)。

　　4、若爐(lu)內壓力(li)為(wei)13.3-66.5Pa時(shi)(此(ci)真(zhen)空度容(rong)易發生(sheng)放(fang)電(dian))。電(dian)源(yuan)出(chu)現(xian)故障(zhang)，掉電(dian)的(de)原因(yin)可(ke)以認為由於電(dian)介(jie)質擊穿而引(yin)起的(de)放(fang)電(dian)。

　　5、充(chong)氣(qi)氣(qi)體(ti)(氬氣(qi)或(huo)氮(dan)氣(qi))停止(zhi)

　　1、抽真空(kong)開始前(qian)，氣(qi)體(ti)充入(ru)時(shi)間(jian)長(chang)或(huo)者(zhe)無法(fa)充入(ru)時(shi)，請(qing)確(que)認氣(qi)體(ti)管路(lu)是(shi)否被(bei)堵塞。

　　2、如(ru)氣(qi)體(ti)管路(lu)沒(mei)問(wen)題(ti)，檢(jian)查電(dian)磁(ci)閥及氣(qi)體(ti)充氣(qi)閥的(de)動作(zuo)，為(wei)了(le)安全與(yu)其相關(guan)聯(lian)的(de)設(she)備(bei)要(yao)全部(bu)停止(zhi)後再(zai)進(jin)行檢(jian)查。

　　3、向(xiang)真空室(shi)內充氣(qi)不能(neng)停(ting)止(zhi)的(de)情況(kuang)下(xia)，泄壓閥(fa)動(dong)作(zuo)如(ru)泄(xie)壓(ya)閥(fa)動作(zuo)時(shi)，要(yao)關閉(bi)氣(qi)體(ti)供給(gei)閥(fa)及(ji)配管在(zai)內的(de)所有氣(qi)體(ti)系統(tong)。

　　4、確(que)認氣(qi)體(ti)充氣(qi)配管是(shi)否有漏(lou)氣(qi)的(de)地方，如(ru)有(you)會(hui)影(ying)響制品(pin)質(zhi)量。

　　6、真空(kong)室(shi)壓力(li)惡(e)化(hua)

　　1、真空(kong)排(pai)氣(qi)時間(jian)比(bi)通常(chang)長(chang)時(shi)，應把設(she)備(bei)停(ting)下(xia)來進(jin)行檢(jian)查，根(gen)據真空(kong)室(shi)內構(gou)造物(wu)不(bu)同(tong)狀(zhuang)態(tai)下(xia)放(fang)氣(qi)的(de)影響，也(ye)有導致壓力(li)升高(gao)的(de)情況(kuang)。

　　2、通(tong)過壓力(li)上升測試(shi)或(huo)者(zhe)用(yong)氦(hai)氣(qi)檢(jian)漏來確(que)認是漏(lou)氣(qi)還有(you)放(fang)氣(qi)的(de)影響。

　　在(zai)真空和保(bao)護(hu)性氣(qi)氛中(zhong)，對(dui)金屬(shu)、陶瓷及壹些難熔金屬(shu)中間(jian)化(hua)合物(wu)粉末(mo)加(jia)熱燒結，要(yao)獲得壹定密度和(he)具(ju)有壹定機械性能(neng)的(de)材(cai)料時，壹般(ban)采用(yong)兩(liang)種(zhong)工(gong)藝;即(ji)有(you)壓(ya)燒結和(he)無壓(ya)燒結。有(you)壓燒結工(gong)藝是(shi)將(jiang)粉狀(zhuang)材(cai)料置於真空(kong)和(he)保護性(xing)氣(qi)氛中(zhong)的(de)高(gao)碳(tan)模(mo)具(ju)中，高(gao)溫加(jia)熱到(dao)軟(ruan)化(hua)狀(zhuang)態(tai)時(shi)，加(jia)壓成型。這(zhe)種工藝需要(yao)壹種(zhong)真空熱壓(ya)燒結才(cai)能(neng)實(shi)現(xian)。該(gai)燒結爐(lu)具(ju)有溫度高(gao)、真(zhen)空(kong)度高(gao)、熱(re)壓(ya)力(li)高(gao)的(de)特點(dian)。