真空鎢絲(si)燒結爐(lu)是壹種(zhong)重(zhong)要(yao)的(de)高(gao)溫(wen)燒結設備(bei)，通常(chang)采用立(li)式結構，主(zhu)要(yao)由(you)爐體、爐蓋(gai)、爐(lu)底(di)、加(jia)熱元件(jian)、真空系統(tong)、溫(wen)場、供氣系(xi)統(tong)、水(shui)冷(leng)系(xi)統(tong)、電(dian)控(kong)系(xi)統(tong)等(deng)部(bu)分(fen)組成。爐(lu)體內部(bu)采用高(gao)純鎢(wu)絲(si)網作(zuo)為(wei)發熱元件(jian)，豎(shu)直懸(xuan)掛(gua)在爐體內，通過側(ce)面引出的(de)鎢(wu)電(dian)極(ji)與水(shui)冷銅(tong)電(dian)極(ji)連接並引出爐(lu)外(wai)與(yu)變壓器連接。爐體外(wai)部(bu)則采(cai)用雙(shuang)層(ceng)水冷(leng)結構，以(yi)及(ji)不(bu)銹(xiu)鋼(gang)精(jing)細(xi)拋光(guang)內腔(qiang)和(he)多(duo)層(ceng)金(jin)屬隔(ge)熱屏，以保障腔體出色(se)的(de)溫(wen)度控(kong)制(zhi)及(ji)高(gao)真空度。

　　真空鎢絲(si)燒結爐(lu)是壹種(zhong)用於(yu)高(gao)溫(wen)燒結和(he)熱處(chu)理的(de)設備，以(yi)下是其(qi)壹般操作(zuo)步驟：

　　1、準備工(gong)作

　　檢(jian)查設備(bei)

　　確(que)認燒結(jie)爐的(de)外(wai)觀無損(sun)壞，各(ge)部(bu)件(jian)連接正(zheng)常(chang)，包括電(dian)源線、接地(di)線(xian)等。

　　檢(jian)查爐門(men)密(mi)封(feng)是否良好(hao)，確保(bao)在燒結(jie)過程中(zhong)能夠(gou)保持真空環境(jing)。

　　查看(kan)真空泵(beng)、充(chong)氣(qi)閥、放氣閥等閥門是否正(zheng)常(chang)工(gong)作，開(kai)關(guan)是否靈(ling)活。

　　清(qing)潔爐膛(tang)

　　清(qing)除爐膛(tang)內的(de)雜物、灰塵(chen)和(he)殘(can)留物，避(bi)免在燒結過程中(zhong)對樣品(pin)造成(cheng)汙(wu)染或影(ying)響燒結(jie)效(xiao)果(guo)。

　　檢(jian)查爐膛(tang)內是否有裂紋(wen)或其(qi)他(ta)損(sun)壞，如(ru)有問(wen)題應(ying)及(ji)時修(xiu)復(fu)或更(geng)換(huan)。

　　放(fang)置樣品(pin)

　　根據樣品的(de)大(da)小(xiao)和(he)形(xing)狀，選(xuan)擇(ze)合適(shi)的(de)坩(gan)堝或托(tuo)盤，並將(jiang)樣(yang)品(pin)均勻地(di)放(fang)置在其(qi)中。

　　確(que)保(bao)樣(yang)品(pin)之間(jian)有足(zu)夠的間(jian)隔(ge)，以(yi)保證(zheng)熱量均勻傳(chuan)遞和(he)氣(qi)體流通。

　　2、抽(chou)真空

　　開啟(qi)機(ji)械(xie)泵(beng)

　　打(da)開(kai)機(ji)械(xie)泵(beng)電(dian)源，啟動(dong)機(ji)械(xie)泵(beng)開(kai)始(shi)抽(chou)氣(qi)。

　　觀察(cha)真空計的(de)示數(shu)，當真空度達(da)到壹定數(shu)值（通常(chang)為10-50Pa）時，關(guan)閉(bi)機(ji)械(xie)泵(beng)與(yu)燒(shao)結(jie)爐(lu)之(zhi)間(jian)的(de)連接閥門。

　　開啟羅茨泵(beng)

　　當(dang)機(ji)械(xie)泵(beng)將(jiang)真空度抽(chou)到(dao)壹定程(cheng)度後，打(da)開羅(luo)茨泵(beng)，進(jin)壹步降(jiang)低(di)爐膛(tang)內的(de)氣壓(ya)。

　　繼續觀察(cha)真空計的(de)示數(shu)，直到(dao)達(da)到所(suo)需(xu)的(de)真空度（壹般為10⁻³-10⁻⁴Pa）。

　　檢(jian)查漏率(lv)

　　在(zai)達(da)到所(suo)需(xu)真空度後，關(guan)閉(bi)所有與(yu)外(wai)界(jie)相(xiang)連的(de)閥門，觀察(cha)壹段(duan)時間(jian)（通常(chang)為15-30分(fen)鐘），看(kan)真空度是否有明顯(xian)變化。

　　如(ru)果(guo)真空度下降(jiang)不(bu)明顯(xian)，說明設(she)備的密(mi)封(feng)性(xing)良好(hao)；如果(guo)真空度下降(jiang)較快，則(ze)需(xu)要(yao)檢(jian)查設備(bei)的(de)密封(feng)部(bu)位，找出泄(xie)漏點(dian)並(bing)進行修復(fu)。

　　3、升溫(wen)燒結

　　設置升溫(wen)程序

　　根據樣品的(de)要(yao)求(qiu)和(he)燒(shao)結工(gong)藝，在(zai)控(kong)制(zhi)系統(tong)中(zhong)設(she)置合適(shi)的升(sheng)溫(wen)程序，包括升(sheng)溫(wen)速(su)率(lv)、保(bao)溫(wen)溫(wen)度和(he)保(bao)溫(wen)時間(jian)等(deng)參(can)數(shu)。

　　壹般來說(shuo)，升(sheng)溫(wen)速(su)率(lv)不(bu)宜(yi)過快，以(yi)免樣品內部(bu)產(chan)生過大(da)的(de)熱應(ying)力導(dao)致(zhi)開(kai)裂或變(bian)形；保溫(wen)溫(wen)度和(he)保(bao)溫(wen)時間(jian)則(ze)應(ying)根據樣品的(de)性(xing)質和(he)燒(shao)結要求(qiu)來確定。

　　啟動(dong)加(jia)熱

　　確認升溫(wen)程序設置無誤後，啟動(dong)加(jia)熱系統(tong)開(kai)始(shi)升(sheng)溫(wen)。

　　在升溫(wen)過程中(zhong)，密切(qie)觀察(cha)溫(wen)度和(he)真空度的變(bian)化，確(que)保設(she)備運(yun)行正(zheng)常(chang)。如果(guo)發現(xian)異(yi)常(chang)情(qing)況(kuang)，如(ru)溫(wen)度過高(gao)、真空度下降(jiang)等(deng)，應(ying)立即(ji)停止(zhi)加(jia)熱並采取相(xiang)應(ying)的措(cuo)施(shi)進(jin)行(xing)處(chu)理。

　　保(bao)溫(wen)燒結

　　當爐(lu)膛(tang)溫(wen)度達(da)到設(she)定(ding)的(de)保溫(wen)溫(wen)度後，進(jin)入(ru)保溫(wen)階(jie)段(duan)。在保(bao)溫(wen)過程中(zhong)，樣品(pin)會發(fa)生壹系列(lie)的(de)物(wu)理和(he)化(hua)學變化，如(ru)顆(ke)粒重(zhong)排(pai)、晶粒生長等，從(cong)而(er)實現(xian)致密化和(he)燒(shao)結。

　　保溫(wen)時間(jian)的(de)長短(duan)取決(jue)於(yu)樣(yang)品的(de)性(xing)質和(he)燒(shao)結要求(qiu)，壹般在幾(ji)十分(fen)鐘到數(shu)小時不(bu)等(deng)。

　　4、冷(leng)卻(que)出爐(lu)

　　降(jiang)溫(wen)冷卻

　　保溫(wen)結束(shu)後(hou)，按照(zhao)壹定的(de)降(jiang)溫(wen)速(su)率(lv)開(kai)始(shi)降(jiang)溫(wen)。降(jiang)溫(wen)速(su)率(lv)應(ying)根據樣品的(de)性(xing)質和(he)要(yao)求(qiu)來確定，壹般比升(sheng)溫(wen)速(su)率(lv)稍(shao)慢(man)壹些(xie)。

　　可(ke)以通過自(zi)然冷卻(que)或采(cai)用風(feng)扇等輔(fu)助冷(leng)卻(que)方(fang)式來加(jia)快降(jiang)溫(wen)速(su)度，但要避(bi)免降(jiang)溫(wen)速(su)度過快導(dao)致(zhi)樣(yang)品(pin)產(chan)生裂紋(wen)或變(bian)形。

　　充(chong)氣(qi)取(qu)出

　　當(dang)爐(lu)膛(tang)溫(wen)度降(jiang)至壹定溫(wen)度（通常(chang)為100℃以(yi)下）後，關(guan)閉(bi)加(jia)熱系統(tong)，停(ting)止(zhi)通入(ru)保護(hu)氣(qi)體。

　　緩(huan)慢(man)打(da)開(kai)充(chong)氣(qi)閥，向爐膛(tang)內充(chong)入(ru)氮氣(qi)或其(qi)他(ta)惰性(xing)氣(qi)體，使(shi)爐(lu)膛(tang)內的(de)壓力(li)恢復(fu)到(dao)大(da)氣(qi)壓。

　　打開爐(lu)門(men)，取(qu)出燒(shao)結(jie)好的(de)樣(yang)品(pin)。註意(yi)在取(qu)出樣(yang)品(pin)時要(yao)佩戴(dai)防(fang)護(hu)手(shou)套(tao)，避(bi)免燙傷。

　　5、後續處(chu)理

　　清(qing)理設(she)備

　　關(guan)閉(bi)燒結(jie)爐的(de)電(dian)源，清(qing)理爐(lu)膛(tang)內的(de)殘留(liu)物和(he)雜物。

　　檢(jian)查設備(bei)的(de)各(ge)個(ge)部(bu)件(jian)是否正(zheng)常(chang)，如有損(sun)壞或磨(mo)損(sun)應(ying)及(ji)時更(geng)換(huan)或維(wei)修。

　　記(ji)錄數(shu)據

　　對本次(ci)燒結(jie)過程的(de)各(ge)項(xiang)參數(shu)進行(xing)記(ji)錄，包括升(sheng)溫(wen)程序、真空度、溫(wen)度變化(hua)曲線(xian)等。這(zhe)些(xie)數(shu)據可(ke)以為(wei)後續的實驗(yan)和(he)生產(chan)提(ti)供參(can)考。