真(zhen)空(kong)釬焊(han)爐(lu)是(shi)熱(re)處(chu)理的(de)大型設(she)備(bei)，能(neng)夠(gou)進(jin)行(xing)真(zhen)空(kong)釬焊(han)、真(zhen)空(kong)退火(huo)、真(zhen)空(kong)時效(xiao)等多(duo)種加工(gong)。可編(bian)多個不(bu)同(tong)程(cheng)序，能(neng)控制(zhi)和編(bian)入上(shang)百個熱(re)處(chu)理曲(qu)線點(dian)，分(fen)上(shang)、下(xia)、左右、前(qian)後(hou)六區控溫(wen)，有(you)多點(dian)和單點溫(wen)度(du)記(ji)錄儀以(yi)及(ji)過溫(wen)保(bao)護(hu)裝(zhuang)置(zhi)，爐(lu)溫(wen)均(jun)勻(yun)性(xing)可控制(zhi)在(zai)恒定溫(wen)度(du)範圍(wei)以(yi)內(nei)，另(ling)配有(you)高(gao)純(chun)氮高(gao)流量(liang)強冷(leng)裝(zhuang)置(zhi)。

　　設(she)備(bei)真(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)主要(yao)由真(zhen)空(kong)室、泵系(xi)統(tong)和各控制(zhi)閥(fa)及熱交(jiao)換(huan)器組成。其中泵系(xi)統(tong)由機械泵、維(wei)持(chi)泵、羅(luo)茨泵、擴散(san)泵等構(gou)成(cheng)。閥(fa)門包括前級閥(fa)(碟(die)閥(fa))、旁路閥(fa)(碟(die)閥(fa))、維持(chi)泵閥(fa)(碟(die)閥(fa))和高(gao)閥(fa)(板(ban)閥(fa))組成，各閥(fa)門均為氣動閥(fa)，由PLC控制(zhi)氣動閥(fa)進(jin)行(xing)控制(zhi)。加(jia)熱室(shi)主要由不(bu)銹(xiu)鋼(gang)加(jia)熱(re)室殼體、不(bu)銹(xiu)鋼(gang)反(fan)射(she)屏、加(jia)熱(re)器、陶瓷絕(jue)緣(yuan)件(jian)、水(shui)冷(leng)電極(ji)、爐床(chuang)等組成。

　　真(zhen)空(kong)釬焊(han)爐(lu)運(yun)行(xing)時，首(shou)先啟(qi)動機械泵、維(wei)持(chi)泵和擴散(san)泵(加(jia)熱)，同(tong)時打(da)開(kai)前(qian)級(ji)閥(fa)和維(wei)持(chi)泵閥(fa)，對擴散(san)泵內(nei)進(jin)行(xing)抽真(zhen)空(kong)。當真(zhen)空(kong)度(du)達到(dao)系(xi)統(tong)某(mou)壹(yi)設(she)定值時，羅(luo)茨(ci)泵啟(qi)動，同(tong)時旁(pang)路(lu)閥(fa)打(da)開(kai)，前(qian)級(ji)閥(fa)關(guan)閉，此時對真(zhen)空(kong)室進(jin)行(xing)抽低(di)真(zhen)空(kong)當擴散(san)泵加(jia)熱至(zhi)規(gui)定溫(wen)度(du)並且(qie)真(zhen)空(kong)度(du)高(gao)於(yu)規(gui)定值時，高(gao)閥(fa)打(da)開(kai)，旁(pang)路(lu)閥(fa)關(guan)閉，前級(ji)閥(fa)打(da)開(kai)。此(ci)時對真(zhen)空(kong)室抽(chou)高(gao)真(zhen)空(kong)，達到(dao)工藝要(yao)求的(de)真(zhen)空(kong)度(du)以(yi)後(hou)，方可進(jin)行(xing)熱處(chu)理工(gong)作。熱(re)加(jia)工(gong)過程(cheng)完成後(hou)，由(you)熱(re)交(jiao)換(huan)器對真(zhen)空(kong)室充(chong)入高(gao)純(chun)氮氣進(jin)行(xing)強制(zhi)冷(leng)卻，完(wan)成(cheng)整(zheng)個工(gong)藝過程(cheng)。