氮(dan)化矽(gui)陶(tao)瓷(ci)基(ji)板(ban)氣(qi)壓(ya)制備(bei)設(she)備(bei)

氮(dan)化矽(gui)陶(tao)瓷(ci)基(ji)板(ban)氣(qi)壓(ya)制備(bei)設(she)備(bei)用途及(ji)特(te)點：

氮(dan)化矽(gui)陶(tao)瓷(ci)基(ji)板(ban)的氣(qi)壓(ya)燒結(jie)成型(xing)。

(1)臥式(shi)結(jie)構，由爐(lu)體，加熱(re)裝置(zhi)，真空系(xi)統(tong)、氣(qi)氛(fen)控制系(xi)統(tong)等(deng)組成。

(2)爐(lu)殼(ke)材料采(cai)用16MnR壓(ya)力(li)容(rong)器鋼(gang)或(huo)304不(bu)銹鋼(gang)。

(3)發熱(re)體采(cai)用等(deng)靜(jing)壓(ya)石墨(mo)，保(bao)溫(wen)層采(cai)用石墨(mo)氈，碳(tan)碳(tan)深積(ji)纖(xian)維(wei)復合(he)材料等(deng)制成。

(4)配(pei)有(you)進(jin)口高(gao)壓(ya)氣(qi)體質量(liang)流(liu)量(liang)計(ji)，實(shi)現動(dong)態工藝(yi)氣(qi)氛(fen)下的穩(wen)定(ding)燒結(jie)。

(5)高(gao)壓(ya)氣(qi)氛(fen)下紅(hong)外(wai)精確控制爐(lu)溫(wen)技術(shu)，特殊的紅(hong)外(wai)吹掃(sao)結(jie)構，確保(bao)在(zai)最(zui)溫(wen)度(du)2100℃(不超過2MPa)長期穩(wen)定(ding)燒結(jie)。

氮(dan)化矽(gui)陶(tao)瓷(ci)基(ji)板(ban)氣(qi)壓(ya)制備(bei)設(she)備(bei)主(zhu)要規格(ge)：

設(she)計(ji)溫(wen)度(du)2100℃、真空Pa、裝(zhuang)料區尺(chi)寸(cun)有(you)（長寬高(gao)）：400×250×250mm、500×450×450mm、1250×500×500mm、1400×600×600mm