真空燒(shao)結(jie)爐(lu)是指(zhi)使(shi)粉(fen)末(mo)壓(ya)坯(pi)通過燒結(jie)獲得所(suo)需(xu)的物理(li)、力(li)學性能以(yi)及(ji)微(wei)觀結(jie)構的(de)設(she)備(bei)。燒結(jie)爐(lu)用(yong)於(yu)烘幹(gan)矽片(pian)上的漿(jiang)料、去(qu)除(chu)漿料中的有機成分(fen)、完(wan)成鋁背場及(ji)柵(zha)線燒(shao)結(jie)。為了保(bao)證(zheng)粉(fen)末(mo)壓(ya)坯(pi)在(zai)燒結(jie)過程中的脫(tuo)蠟(la)（潤滑劑或成形(xing)劑）、還原(yuan)、合金(jin)化(hua)、組(zu)織轉變等順(shun)利進(jin)行，燒(shao)結(jie)時(shi)需(xu)要(yao)對燒結(jie)溫(wen)度、保(bao)護氣(qi)氛、壓(ya)坯(pi)傳送方式(shi)、加(jia)熱(re)和冷卻速(su)度等進(jin)行的(de)控制。
真空燒(shao)結(jie)爐(lu)也具(ju)有潤滑劑燒除、預(yu)燒結(jie)及(ji)高(gao)溫(wen)燒結(jie)的功(gong)能。潤滑劑含(han)量(liang)多(duo)的壓(ya)坯(pi)可先在(zai)壹般爐(lu)中燒除，然後(hou)再(zai)在(zai)真空爐(lu)內(nei)燒(shao)結(jie)。
真空燒(shao)結(jie)爐(lu)內(nei)部(bu)通常(chang)是由(you)加(jia)熱(re)部分(fen)和隔熱(re)保溫(wen)兩部(bu)分(fen)組(zu)成的(de)燒(shao)結(jie)區。加(jia)熱(re)形式有電熱(re)元件（如(ru)碳(tan)管、碳(tan)棒(bang)）加(jia)熱(re)、中頻感應加(jia)熱(re)兩種(zhong)。爐(lu)子(zi)的冷(leng)卻采用(yong)水(shui)夾套冷卻。為了加(jia)速(su)冷卻，可向(xiang)爐(lu)內(nei)通(tong)入氫(qing)、氮(dan)、氬等氣體。
1、溫(wen)度控制：PID自動控制溫(wen)度，數(shu)字(zi)顯示（可(ke)編(bian)程度(du)30段曲(qu)線(xian)；全自動升溫(wen)、保溫(wen)、降溫(wen)）上限報(bao)警、偏差(cha)報(bao)警、程(cheng)序運行結(jie)束(shu)自動停(ting)止、無(wu)需人(ren)值守(shou)（可(ke)做成壹(yi)鍵抽真空升(sheng)降溫(wen)，全程(cheng)PLC控制）
2、溫(wen)控儀(yi)表(biao)線(xian)性電流(liu)輸出(chu)，觸(chu)發器移(yi)相觸(chu)發反並聯雙向可控矽。
3、控溫(wen)熱電(dian)偶采(cai)用S分(fen)度(du)熱(re)電(dian)偶
4.警報(bao)動作(zuo)：
①超溫(wen)報(bao)警：爐(lu)內(nei)溫(wen)度上升達(da)到報(bao)警溫(wen)度時(shi)，自動切斷電(dian)源(yuan)，報(bao)警提(ti)示燈(deng)亮(liang)。
②斷(duan)偶(ou)報(bao)警：熱(re)電(dian)偶(ou)開路，儀(yi)表(biao)報(bao)警並自動斷電。
