真空碳(tan)管(guan)燒(shao)結爐(lu)是(shi)指使粉末壓(ya)坯通過燒結(jie)獲(huo)得(de)所(suo)需(xu)的物理、力(li)學性(xing)能(neng)以及(ji)微觀結(jie)構的設備(bei)。燒(shao)結(jie)爐(lu)用(yong)於烘幹(gan)矽片上(shang)的漿料、去除(chu)漿(jiang)料中的有(you)機成(cheng)分、完成(cheng)鋁(lv)背(bei)場及(ji)柵(zha)線燒(shao)結(jie)。為(wei)了保證粉(fen)末壓(ya)坯在燒結(jie)過程中(zhong)的脫蠟（潤(run)滑(hua)劑(ji)或(huo)成(cheng)形劑(ji)）、還(hai)原(yuan)、合(he)金(jin)化(hua)、組織轉變(bian)等(deng)順利(li)進行(xing)，燒(shao)結時(shi)需(xu)要對(dui)燒(shao)結(jie)溫度(du)、保護氣(qi)氛(fen)、壓(ya)坯傳(chuan)送(song)方式(shi)、加熱(re)和(he)冷卻(que)速(su)度(du)等進(jin)行(xing)的控制。
真空碳(tan)管(guan)燒(shao)結爐(lu)主(zhu)要用於(yu)工(gong)業陶瓷(ci)、結構陶瓷(ci)、金屬陶瓷(ci)、硬質(zhi)合(he)金(jin)行(xing)業作(zuo)為(wei)材料在氣(qi)氛(fen)和(he)壓(ya)力(li)條(tiao)件(jian)下(xia)的燒結設備(bei)。系周(zhou)期(qi)作(zuo)業式(shi)電爐(lu)，它(ta)是(shi)以優質(zhi)石墨(mo)作(zuo)發(fa)熱(re)體的高溫、高真空電阻(zu)爐(lu)，額(e)定溫度(du)為(wei)2000℃。在特殊(shu)需(xu)要的情況(kuang)下，允(yun)許(xu)在保護氣(qi)氛(fen)中，短(duan)時(shi)間工(gong)作(zuo)到(dao)2400℃-2500℃。可(ke)供金(jin)屬(shu)、難(nan)熔化(hua)合(he)物及(ji)陶瓷(ci)材料等在真空或(huo)保護氣(qi)氛(fen)中加熱(re)之用。
1、當(dang)使用氫(qing)氣(qi)或(huo)分(fen)解(jie)氨(an)時(shi)，要先通(tong)入(ru)氮氣(qi)，在確(que)保爐(lu)中(zhong)的空氣(qi)*被(bei)排出時(shi)，才能(neng)通電升溫，以防(fang)止(zhi)打(da)鳴(ming)和(he)爆(bao)炸。
2、對(dui)鉬絲(si)作(zuo)加(jia)熱(re)元(yuan)件(jian)的燒結爐(lu)，在通電前爐(lu)體中應(ying)通入(ru)保護氣(qi)體，以防(fang)止(zhi)鉬絲(si)氧化(hua)而脆斷(duan)。
3、爐(lu)門(men)及(ji)氣(qi)體排出口(kou)應(ying)點(dian)明火(huo)燒除(chu)，以防(fang)止(zhi)氧氣(qi)進入或(huo)氫(qing)氣(qi)排出而發(fa)生(sheng)爆(bao)炸危(wei)險(xian)和(he)煤氣(qi)中毒危(wei)險(xian)。
4、若電熱元件為(wei)鐵鉻鋁(lv)電阻(zu)絲(si)，在升溫至(zhi)1100℃時(shi)應(ying)停留(liu)壹段時(shi)間（30min左(zuo)右）再升溫，以防(fang)止(zhi)電阻(zu)絲(si)表面溫度(du)過高而損壞(huai)。
5、在升溫前和(he)操作(zuo)中(zhong)應(ying)不時(shi)檢(jian)查氣(qi)流、水流(liu)是(shi)否符合(he)要求，以及(ji)檢(jian)查設備(bei)、電和(he)爐(lu)溫的控制儀(yi)表是(shi)否正(zheng)常(chang)。
6、停爐(lu)前應(ying)先斷(duan)電，在爐(lu)溫降到(dao)200℃以下(xia)時(shi)再停(ting)氣(qi)和(he)停水。
7、除(chu)了(le)因維(wei)修必(bi)須(xu)停(ting)爐(lu)外，要避免頻(pin)繁(fan)停爐(lu)。燒(shao)結爐(lu)的頻(pin)繁(fan)開停，會造成(cheng)加熱(re)元(yuan)件(jian)易於(yu)老化(hua)，耐(nai)火(huo)材料易於(yu)碎(sui)裂，爐(lu)內(nei)氣(qi)氛(fen)不純，爐(lu)溫容易(yi)波(bo)動(dong)等弊(bi)端。
