真(zhen)空(kong)碳(tan)管燒(shao)結(jie)爐是(shi)指(zhi)使粉末(mo)壓(ya)坯(pi)通過(guo)燒(shao)結獲得(de)所(suo)需的(de)物(wu)理、力學(xue)性(xing)能以及微(wei)觀結(jie)構(gou)的(de)設備。燒(shao)結爐(lu)用(yong)於(yu)烘(hong)幹(gan)矽片(pian)上(shang)的(de)漿料、去除漿料中(zhong)的(de)有機(ji)成分、完(wan)成鋁背場(chang)及(ji)柵(zha)線(xian)燒結。為了(le)保(bao)證(zheng)粉末(mo)壓(ya)坯(pi)在燒(shao)結過(guo)程(cheng)中(zhong)的(de)脫蠟（潤(run)滑劑或(huo)成形(xing)劑）、還(hai)原、合(he)金化(hua)、組(zu)織(zhi)轉(zhuan)變等(deng)順(shun)利進行(xing)，燒(shao)結時需(xu)要(yao)對燒結(jie)溫度、保(bao)護(hu)氣氛、壓(ya)坯(pi)傳送方式(shi)、加(jia)熱和冷(leng)卻(que)速(su)度等(deng)進(jin)行(xing)的(de)控制(zhi)。

　　真(zhen)空(kong)碳(tan)管燒(shao)結(jie)爐主要(yao)用於(yu)工(gong)業(ye)陶(tao)瓷、結構(gou)陶瓷、金屬(shu)陶(tao)瓷、硬質(zhi)合(he)金行(xing)業作(zuo)為材料在氣氛和(he)壓(ya)力條件下(xia)的(de)燒結(jie)設備。系(xi)周(zhou)期(qi)作(zuo)業式(shi)電(dian)爐(lu)，它(ta)是以(yi)優質(zhi)石墨(mo)作(zuo)發熱體(ti)的(de)高(gao)溫(wen)、高(gao)真(zhen)空(kong)電阻爐，額(e)定溫(wen)度為2000℃。在(zai)特(te)殊需要的(de)情(qing)況下(xia)，允(yun)許在(zai)保(bao)護(hu)氣氛中(zhong)，短時間工(gong)作(zuo)到2400℃-2500℃。可供(gong)金屬(shu)、難熔化合物(wu)及陶瓷材料等(deng)在(zai)真(zhen)空(kong)或(huo)保(bao)護(hu)氣氛中(zhong)加(jia)熱之用。

　　真(zhen)空(kong)碳(tan)管燒(shao)結(jie)爐主要(yao)由爐(lu)體(ti)、爐門(men)、加(jia)熱與(yu)保(bao)溫(wen)及測溫(wen)系(xi)統(tong)、真(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)、充氣系(xi)統(tong)、水(shui)冷(leng)系(xi)統(tong)、控(kong)制(zhi)系(xi)統(tong)、液(ye)壓(ya)系(xi)統(tong)等(deng)組(zu)成(cheng)。

　　1、爐體(ti)：雙(shuang)層304不(bu)銹(xiu)鋼(gang)水冷(leng)結(jie)構(gou)，並(bing)經精密拋光(guang)，有(you)利於(yu)縮短(duan)抽氣時間，且(qie)便於(yu)清潔(jie)；

　　2、爐蓋：雙(shuang)層水(shui)冷(leng)的(de)結構(gou)，內外壁均(jun)為304並(bing)經精密拋光(guang)處(chu)理，中(zhong)間通冷(leng)卻(que)水(shui)。

　　3、加(jia)熱保(bao)溫(wen)及測溫(wen)系(xi)統(tong)：采(cai)用鉬絲(si)加(jia)熱，氧化(hua)鋁絕緣柱(zhu)組(zu)成(cheng)筒形(xing)結(jie)構(gou)形(xing)式(shi)；隔熱(re)屏(ping)采(cai)用由內(nei)層鉬(mu)片(pian)(5層)外層(ceng)為1層(ceng)不(bu)銹(xiu)鋼(gang)片(pian)組(zu)成(cheng)6層隔熱(re)屏(ping)，屏(ping)蓋與(yu)屏(ping)底的(de)材料與(yu)之相同(tong)，也采用6層，特(te)點(dian)潔(jie)凈度高(gao)，能(neng)快(kuai)速(su)加(jia)熱,透氣(qi)性(xing)好(hao)。上(shang)下(xia)壓(ya)頭采用高(gao)強度石墨(mo)。測(ce)溫(wen)元件采(cai)用(yong)鎢錸熱(re)電(dian)偶，可控(kong)矽(gui)控(kong)溫(wen)，配置有(you)PID功(gong)能(neng)儀表，數(shu)顯表，具(ju)有超(chao)溫聲光(guang)報(bao)警功(gong)能(neng)，也可選用PLC觸(chu)摸(mo)屏(ping)自(zi)動(dong)控制(zhi)，並(bing)保(bao)留(liu)歷(li)史數(shu)據(ju)，便於(yu)分析燒結過(guo)程(cheng)。

　　4、真(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)：由油擴散泵、羅茨泵(beng)、機(ji)械泵(beng)配電磁壓(ya)差閥（防止因突(tu)然停(ting)電、機(ji)械泵(beng)油倒(dao)灌(guan)）充氣閥、放(fang)氣(qi)閥、真(zhen)空(kong)蝶閥、真(zhen)空(kong)壓(ya)力表（±Pa）波(bo)紋(wen)管(guan)、真(zhen)空(kong)管路(lu)和(he)支架等(deng)組(zu)成(cheng)。

　　5、充氣系(xi)統(tong)：由各種(zhong)管(guan)道(dao)及(ji)閥門(men)組(zu)成(cheng)，並(bing)配有電(dian)磁放(fang)氣(qi)閥、壓(ya)力傳感器(qi)，當(dang)爐(lu)內(nei)壓(ya)力高(gao)於(yu)安全值時會自(zi)動(dong)放(fang)氣(qi)，充氣管(guan)路(lu)上(shang)裝(zhuang)有針閥，可控制(zhi)充氣量(liang)，用於(yu)燒(shao)結(jie)工(gong)藝(yi)所(suo)需(xu)充氬氣(qi)、氮(dan)氣的(de)氣氛要(yao)求(qiu)；

　　6、水冷(leng)系(xi)統(tong)：由各種(zhong)閥管道(dao)相關(guan)裝置組(zu)成(cheng)且(qie)設有斷水(shui)聲光(guang)報(bao)警自(zi)動(dong)切(qie)斷加(jia)熱源等(deng)功(gong)能(neng)。

　　7、充氣裝(zhuang)置(zhi)：主要(yao)由充氣閥、流量(liang)計、充氣管(guan)道(dao)等(deng)組(zu)成(cheng)，用於(yu)燒(shao)結(jie)工(gong)藝(yi)所(suo)需(xu)充氬氣(qi)、氮(dan)氣的(de)氣氛要(yao)求(qiu)；

　　8、控制(zhi)系(xi)統(tong)：由可(ke)編(bian)程(cheng)控制(zhi)器(qi)PLC、溫控儀、真(zhen)空(kong)計、電壓(ya)電(dian)流表、直(zhi)流穩(wen)壓(ya)電(dian)源、空(kong)開、接(jie)觸(chu)器(qi)、繼(ji)電器(qi)、按鈕、指(zhi)示燈等(deng)組(zu)成(cheng)，以實現(xian)供(gong)電、控(kong)制(zhi)、記錄、監視、報(bao)警保(bao)護(hu)功(gong)能(neng)。

　　9、液(ye)壓(ya)系(xi)統(tong)：采(cai)用電動(dong)輸(shu)入方式(shi)。由液(ye)壓(ya)站(zhan)配有進(jin)口(kou)比(bi)例閥、壓(ya)力傳感器(qi)、位移顯(xian)示器(qi)采用光(guang)柵(zha)尺(chi)（測(ce)距(ju)精(jing)度0.02mm）、液(ye)壓(ya)缸等(deng)相關(guan)液(ye)壓(ya)裝(zhuang)置，壓(ya)力調(tiao)節(jie)半自(zi)動(dong)化、可通過(guo)手動(dong)調(tiao)節(jie)。儀表可(ke)設定自(zi)動(dong)調(tiao)節(jie)壓(ya)力，並(bing)能(neng)實現(xian)穩(wen)壓(ya)、保(bao)壓(ya)。